फैब फ्लोर पर, एक 300mm वेफर में हजारों डाई होते हैं। फोटोरेसिस्ट बेक के दौरान 2°C का स्विंग पूरे लॉट को खराब कर सकता है। हमने अपने थर्मल सिस्टम इस स्थिति को रोकने के लिए बनाए हैं।
तकनीकी रूप से जो महत्वपूर्ण है वह है नियंत्रण जिस पर आप भरोसा कर सकें। हमारे NIR और मीडियम-वेव इन्फ्रारेड मॉड्यूल पूरे प्रोसेस विंडो में वेफर-लेवल समानता ±0.1°C के भीतर बनाए रखते हैं, सॉफ्ट बेक से लेकर हार्ड बेक तक। क्वार्ट्ज और कार्बन-फाइबर-रिइंफोर्स्ड हीटर एलिमेंट तेज़ी से गर्म होते हैं और न्यूनतम ओवरशूट के साथ तापमान बढ़ाते हैं, जिससे फोटोरेसिस्ट प्रोफ़ाइल सुरक्षित रहता है और लाइनविड्थ टारगेट पर बनी रहती है।
प्रत्येक यूनिट क्लास 1–100 क्लीनरूम उपयोग के लिए रेटेड है, जिसमें शून्य कण उत्पादन और सील्ड, कम आउटगैसिंग बिल्ड होती है। इसका परिणाम है दोहराव क्षमता जो क्रिटिकल डाइमेंशन वेरिएंस को स्पेक के नीचे रखती है, और विश्वसनीयता जो बिना अनियोजित डाउनटाइम के 24/7 चलती है।
यह असली उत्पादन सेल में इसलिए काम करता है क्योंकि थर्मल व्यवहार को रेसिपी के अनुरूप होना चाहिए, न कि टूल के अनुसार रेसिपी को बदलने के लिए मजबूर करना। हम मौजूदा कोटर/बेक ट्रैकों और एडवांस्ड पैकेजिंग उपकरणों में सीधे इंटीग्रेट करते हैं, हर वेफर पास पर सटीक तापमान नियंत्रण प्रदान करते हैं।
कठोर थर्मल बजट। कम रीवर्क। स्थिर यील्ड।
ऊर्जा की खपत घटती है क्योंकि हीटर केवल उन्हीं जगहों पर गर्मी देते हैं जहां जरूरत होती है, और साइकिल टाइम नियमित रैम्प रेट्स के कारण कम होते हैं। सेमीकंडक्टर मशीनरी पार्ट्स ट्रेड के लिए, ये मॉड्यूल अपग्रेड के रूप में सीधे फिट होते हैं जो पूरे लाइन की रीक्वालिफिकेशन के बिना उपकरण की जीवन अवधि बढ़ाते हैं।
योजना बनाने के लिए आवश्यक बातें निम्न हैं। इंस्टॉलेशन का मतलब है होस्ट प्लेटफॉर्म के लिए वोल्टेज, कनेक्टर प्रकार और मैकेनिकल एन्क्लोजर का मिलान करना — हम कॉमन OEM फुटप्रिंट्स के लिए डाइमेंशनल ड्रॉइंग्स और पिनआउट प्रदान करते हैं।
कमीशनिंग छोटा होता है, लेकिन आपको PID पैरामीटर को अपनी विशिष्ट प्रोसेस गैस और वेफर स्टैक के अनुसार ट्यून करना होगा। उच्च आर्द्रता वाले वातावरण में, एक छोटा सेटपॉइंट बायस परिवेशीय थर्मल लोड की भरपाई करता है।
समानता को कड़ा बनाए रखने और कणों की गिनती को शून्य पर रखने के लिए हर 5,000 घंटे पर प्रिवेंटिव मेंटेनेंस योजना बनाएं।