בשלב הליתוגרפיה, שלב החימום אינו רק הפסקה בתהליך – הוא למעשה גבול ברור בתהליך עצמו. אם טמפרטורת החימום אינה יציבה, זה ישפיע על שליטה ברוחב הקווים. אם החימום אינו אחיד, ייווצרו חומרים לא רצויים על פני הוואפר. כאשר התנאים התרמיים קפדניים, על מנורת החימום לשמור על יציבות ברמת דיוק גבוהה, מיום ליום, מבלי ליצור חלקיקים או שינויים באיכות החומר.
דיוק אינפרא-אדום: שליטה בשדה התרמי ברמת תת-מילימטר פיתחנו את מנורת החימום הזו על בסיס חימום באמצעות אור אינפרא-אדום בגלים קצרים – שכן היא מגיבה במהירות ומאפשרת שליטה ישירה בטמפרטורה. דבר זה מאפשר שליטה בשדה התרמי ברמת תת-מילימטר, ובכך לשמור על אחידות באזור החימום. בפועל, הפוטורזיסט מקבל אנרגיה אחידה, מצילום לצילום, ממוצר למוצר.
המערכת מיועדת לשימוש בחדרי ניקיון מסוג Class 1–100, כאשר החומרים והאטמים נבחרו כך שיוכלו למנוע יצירת חלקיקים. זה בדיוק מה שהתהליך דורש.
למה זה מתאים לתהליך חימום של שבבים מה שאתם באמת צריכים כאן זו יציבות – לא יותר חום. מנורה זו שומרת על פרופילי החימום של הפוטורזיסט בטווח טולרנציה צר, כך שניתן להפחית את הצורך בעבודה חוזרת ואת השינויים הנגרמים כתוצאה משינויים תרמיים. החימום מתבצע במהירות, מה שמקצר את זמן התהליך, אך הוא אינו עולה על הטמפרטורה הרצויה.
בנוסף, האווירה המבוקרת מונעת חמצון ושינויים בלחות, שעלולים לשנות את התנהגות הפוטורזיסט. צריכת האנרגיה פוחתת, מכיוון שהמנורה מחממת רק את האזור הרצוי, ביעילות גבוהה. עיצוב המנורה מאפשר זמן שימוש ארוך, מה שמקצר את הזמן הדרוש בין הטיפולים השונים. התוצאה היא ביצועים יציבים ותפוקה צפויה.
התקנה והפעלה מנורות אלו ניתנות להתקנה קלה, אך יש צורך במערכות חימום מתאימות ובמערכות ניקוז טובות, כדי לשמור על שליטה באווירה. יש להתאים את המנורה לתנאים הספציפיים של הוואפר והחומרים המשמשים. המנורה תפעל בצורה הטובה ביותר כאשר לחץ האוויר וזרימת הגז נמצאים בטווחים המוגדרים. ציינו את גודל הוואפר, טווח הטמפרטורות וסוג חדר הניקיון, ואנו נגדיר את ההגדרות המתאימות.