Comment réussir la mise en durcissement des wafer : tout dépend de la réflexion lumineuse
Lorsque l’on met en durcissement des wafer, il est nécessaire d’utiliser de la chaleur. Mais il ne s’agit pas simplement de chaleur : il faut que cette chaleur atteigne correctement la surface du wafer, à chaque fois.
La plupart des gens voient dans le réflecteur un simple élément structurel. Moi, je le vois différemment : c’est en réalité l’outil le plus important de l’ensemble du système. Si le réflecteur n’est pas bien ajusté, vous perdrez de l’argent et de l’énergie inutilement, car c’est le châssis de la machine qui sera chauffé, et non pas le produit lui-même.
Utiliser au mieux chaque rayon lumineux
Nous nous concentrons sur ce qu’on appelle le « facteur de vue ». En termes simples, cela signifie que nous veillons à ce que la lampe et le wafer soient face à face. En utilisant des substrats recouverts d’or ou de l’aluminium de haute pureté, nous pouvons faire en sorte que 95 % de la radiation infrarouge atteigne directement le wafer. Cela ressemble à un faisceau laser très précis.
Et voici le meilleur : lorsque vous cessez de gaspiller de l’énergie, les processus se déroulent plus rapidement. Les wafer atteignent rapidement la température souhaitée, ce qui réduit le temps de traitement. Vous n’avez alors plus besoin d’un four gigantesque qui occupe la moitié de l’espace disponible.
Adapter ces solutions aux usines modernes
Si vous gérez une usine intelligente, vous voulez disposer de données fiables. Lorsque le réflecteur fonctionne correctement, les calculs deviennent simples : l’énergie fournie correspond exactement à la chaleur générée sur la surface du wafer. Pas de guesswork possible. Cela facilite beaucoup le travail du PLC, car celui-ci peut maintenir une température constante sans avoir à lutter contre les pertes d’énergie.
Ces produits sont conçus pour être remplacés facilement. Mais attention : il faut bien vérifier l’alignement du réflecteur. Même une petite déviation peut créer des « zones froides » sur le wafer. Un petit oubli suffit pour que vous ayez des défauts dans les produits finis.
Les compromis à prendre en compte
Il y a tout de même un inconvénient : en concentrant autant de chaleur, l’enveloppe en quartz de la lampe est soumise à de fortes contraintes. Il est donc important de vérifier que les ventilateurs de refroidissement fonctionnent correctement. Sinon, les broches électriques de la lampe risquent de se détériorer prématurément. Gardez-les bien refroidis, et tout ira bien.