Sur le plancher de production, une plaquette de 300mm attend le soft bake qui va stabiliser le profil du photoresist. Un point chaud, une zone froide, et le contrôle de la largeur de ligne est perdu. La ligne s’arrête. Nous avons conçu ce chauffage optique pour le traitement des plaquettes afin d’éviter cela dès le départ.
Ce qui compte réellement, techniquement
L’unité s’appuie sur des émetteurs en quartz à infrarouge à ondes courtes (SWIR), injectant l’énergie directement dans le photoresist et le substrat — de manière rapide, directe et sans complication. La uniformité au niveau de la plaquette est maintenue dans une plage de ±0,1°C sur toute la zone active, garantissant que les étapes critiques de cuisson respectent le budget thermique. Compatible avec les salles blanches de classe 1 à classe 100, ce chauffage ne génère aucune particule en fonctionnement. La répétabilité de la température se maintient à ±0,2°C d’un lot à l’autre, et le chauffage fonctionne 24/7 sans temps d’arrêt non planifié.
Pourquoi il correspond à notre activité
Ce chauffage répond aux quatre pivots thermiques essentiels que nous gérons : séchage de la plaquette, soft bake et hard bake du photoresist, sous-remplissage et durcissement de l’encapsulation dans le packaging, et séchage post-nettoyage.
En lithographie, cette uniformité stricte maintient les cibles de dimension critique (CD) et de profil dans les spécifications, ce qui réduit les rebuts et les retouches. En packaging, la montée en température rapide réduit la durée de polymérisation sans dépassement, ce qui améliore le débit. Et puisque le SWIR chauffe directement sans chauffer une enceinte, la consommation d’énergie diminue.
Voici les détails dont vous avez besoin
L’installation se limite à l’adaptation de l’enveloppe mécanique de l’outil et des circuits de refroidissement. Nous fournissons les plans d’interface et la liste des connecteurs pour faciliter l’intégration.
La durée de vie des émetteurs est évaluée à 10 000 heures. Au-delà, une dérive de puissance peut commencer à affecter l’uniformité sauf si des remplacements sont planifiés. Il est donc recommandé d’anticiper les opérations de maintenance, sans attendre une défaillance en production.