Réduire les émissions de carbone dans les boîtiers isolés utilisés pour le travail sur des semi-conducteurs à l’aide de chaleur infrarouge
Soyez honnêtes : chauffer un boîtier isolé destiné au travail sur des semi-conducteurs est généralement une perte d’énergie. La plupart des systèmes utilisent un chauffage résistif, ce qui signifie que l’on essaie de chauffer tout le boîtier simplement pour amener la pièce à travailler à la température souhaitée. C’est inefficace.
Nous avons trouvé une meilleure solution : en utilisant des éléments de chauffage à ondes infrarouges à courte longueur d’onde, nous pouvons diriger la chaleur exactement là où elle est nécessaire. Au lieu de chercher à chauffer tout l’air présent dans le boîtier, on cible directement la pièce à chauffer.
Le côté puissance
Lorsqu’on travaille dans un vide ou dans une atmosphère inerte, il est nécessaire d’atteindre rapidement la température souhaitée. C’est là que l’importance d’une forte densité de puissance devient évidente.
Comme les ondes infrarouges transmettent la chaleur par rayonnement et non par convection, on n’a pas besoin d’utiliser des kilowatts de puissance pour chauffer l’argon ou l’azote présents dans le boîtier. Cela permet de réduire le temps de chauffage, et on constate immédiatement des économies d’énergie.
Ce qui est utilisé dans la construction
La contamination est l’ennemi ici. Un petit oubli peut entraîner la destruction de toute la production.
C’est pourquoi nous utilisons des enveloppes en quartz de haute pureté ainsi que des filaments en tungstène. Le quartz est idéal car il ne libère pas de gaz lorsqu’il est chauffé. Nous utilisons également des revêtements spéciaux pour garantir que la chaleur pénètre bien dans le matériau, plutôt que de rebondir à sa surface.
Et comme l’espace est toujours restreint dans ces boîtiers, nous utilisons des connecteurs standardisés. Cela permet de garantir un bon ajustement électrique et d’éviter les arcs électriques.
La réalité
Passer au chauffage infrarouge, c’est un avantage tant pour la planète que pour votre salle propre. Cela soulage considérablement les systèmes de climatisation et de refroidissement.
Mais ce n’est pas une solution miracle. Les ondes infrarouges à forte intensité génèrent une chaleur locale importante. Si l’on néglige correctement l’installation des supports ou des protections, cela peut entraîner des déformations ou des dommages aux joints. De plus, on ne peut pas simplement actionner un interrupteur et partir ; il faut un contrôleur PID précis. Sans un système de feedback efficace, il est très facile de brûler un filament ou de endommager le substrat.