در کف کارخانه، یک ویفر 300mm شامل هزاران دای است. نوسان 2°C در طی پخت فوتورزیست میتواند یک دسته کامل را از بین ببرد. سیستمهای حرارتی ما برای جلوگیری از این اتفاق طراحی شدهاند.
آنچه از لحاظ فنی اهمیت دارد، کنترل قابل اعتماد است. ماژولهای NIR و مادونقرمز موج متوسط، یکنواختی در سطح ویفر را در محدوده ±0.1°C در کل فرآیند، از سافت بیک تا هارد بیک، حفظ میکنند. المنتهای هیتر کوارتز و تقویتشده با فیبر کربن با حداقل اورشوت به سرعت دما را افزایش میدهند تا پروفیل فوتورزیست حفظ شده و عرض خطوط در هدف بماند.
هر واحد برای استفاده در اتاق تمیز کلاس 1–100 با تولید ذرات صفر و ساختار کاملاً مهر و موم شده و کمخروجی گاز ارزیابی شده است. نتیجه، تکرارپذیری است که انحراف ابعاد بحرانی را زیر مشخصات نگه میدارد و قابلیت اطمینانی که به صورت 24/7 بدون توقف برنامهریزی نشده کار میکند.
دلیل کارکرد این سیستمها در سلولهای واقعی ساده است: رفتار حرارتی باید با دستورالعمل مطابقت داشته باشد، نه اینکه شما را مجبور کند دستورالعمل را با ابزار تطبیق دهید. ما بهطور مستقیم در خطوط کوتر/بیک موجود و تجهیزات بستهبندی پیشرفته ادغام میشویم و کنترل دمای دقیقی در هر عبور ویفر ارائه میدهیم.
بودجههای حرارتی محدودتر. اصلاحات کمتر. بازدهی ثابت.
مصرف انرژی کاهش مییابد زیرا هیترها گرما را دقیقاً در محل مورد نیاز متمرکز میکنند و زمانهای چرخه به دلیل نرخهای افزایش دمای یکنواخت کوتاهتر میشوند. برای تجارت قطعات ماشینآلات نیمههادی، این ماژولها به عنوان ارتقاء وارد میشوند که عمر تجهیزات را بدون نیاز به اعتبارسنجی مجدد کل خط افزایش میدهند.
مواردی که باید برای آن برنامهریزی کنید به شرح زیر است. نصب به معنای تطبیق ولتاژ، نوع کانکتور و ابعاد مکانیکی با پلتفرم میزبان است — ما نقشههای ابعادی و پیناوتهای رایج برای سازندگان تجهیزات اصلی (OEM) را ارائه میدهیم.
راهاندازی کوتاه است، اما پارامترهای PID را باید متناسب با گاز فرآیندی و پشته ویفر تنظیم کنید. در محیطهای با رطوبت بالا، یک بایاس نقطه تنظیم کوچک بار حرارتی محیط را جبران میکند.
برنامهریزی نگهداری پیشگیرانه هر 5,000 ساعت برای حفظ یکنواختی و صفر نگه داشتن تعداد ذرات ضروری است.