چگونه فرآیند خشک کردن ویفرها را به درستی انجام دهیم: همه چیز به بازتاب نور بستگی دارد
هنگام خشک کردن ویفرها، به گرما نیاز داریم. اما نه فقط به گرما، بلکه لازم است که گرما به طور دقیق روی سطح ویفر تأثیر بگذارد.
بیشتر مردم، ریفلکتور را صرفاً به عنوان یک قطعه ساده میبینند؛ اما من آن را به شکل دیگری میبینم. در واقع، ریفلکتور مهمترین ابزار در این فرآیند است. اگر ریفلکتور به درستی کار نکند، در واقع در حال پرداخت هزینه برای گرم کردن بدنه دستگاه هستیم، نه محصول. این کار باعث هدر رفتن پول و انرژی زیادی میشود.
استفاده بهینه از هر پرتو نور
ما روی چیزی به نام «فاکتور دید» تمرکز میکنیم. به عبارت ساده، مطمئن میشویم که لامپ و ویفر درست در مقابل یکدیگر قرار داشته باشند.
با استفاده از سطوح پوشیده شده با طلا یا آلومینیوم با خلوص بالا، میتوانیم بیش از ۹۵٪ از تشعشعات مادون قرمز را مستقیماً روی ویفر منتقل کنیم. این کار مانند تمرکز نور لیزر است.
نکته خوب این است که وقتی از هدر رفتن انرژی جلوگیری میکنیم، فرآیند خشک کردن سریعتر انجام میشود. در نتیجه، نیازی به استفاده از فرهای بزرگی که نیمی از فضای کارخانه را اشغال کنند، نخواهد بود.
سازگاری با کارخانههای مدرن
اگر کارخانهای هوشمند دارید، میخواهید از دادههایی استفاده کنید که قابل اعتماد باشند.
وقتی ریفلکتور به درستی کار کند، محاسبات ساده میشود: توان ورودی، گرمای تولید شده روی سطح ویفر را مشخص میکند. دیگر نیازی به حدس و گمان نیست. این کار کار PLC را بسیار آسانتر میکند، زیرا میتواند دمای مورد نیاز را حفظ کند، بدون اینکه با اتلاف انرژی مواجه شود.
ما این قطعات را به گونهای طراحی کردهایم که به راحتی قابل جایگزینی باشند؛ اما مراقب باشید: حتی کمترین انحراف در زاویه، میتواند باعث ایجاد «نقاط سرد» روی ویفر شود. یک اشتباه کوچک میتواند منجر به ایجاد نقصهای زیادی در ویفرها شود.
معایب این روش
البته، این روش نیز معایبی دارد.
وقتی گرما را به این شدت تمرکز میکنیم، پوسته کوارتز لامپ آسیب میبیند. این کار باعث فشار زیادی بر لامپ میشود.
باید فنهای خنککننده را با دقت بررسی کنید؛ مطمئن شوید که میتوانند گرمای تولید شده را کنترل کنند. در غیر این صورت، سوکتهای لامپ خیلی زود خراب خواهند شد. اگر فنها را به خوبی خنک نگه دارید، مشکلی پیش نخواهد آمد.