در فرآیند لیتوگرافی، مرحله حرارتدهی تنها یک توقف ساده نیست؛ بلکه یک مرحله حیاتی در این فرآیند است. اگر دمای حرارتدهی تغییر کند، این تغییرات بر کنترل ضخامت خطوط روی ویفر تأثیر خواهد گذاشت. همچنین، اگر حرارتدهی به صورت یکنواخت انجام نشود، ذرات و ناخالصیهایی در ویفر ایجاد خواهد شد. وقتی که میزان انرژی حرارتی محدود باشد، لامپ حرارتدهی باید روزهای متوالی، در سراسر ویفر، دمای یکنواختی را حفظ کند، بدون ایجاد ذرات یا ناخالصیهایی.
دقت مادونقرمز: کنترل میدان حرارتی در مقیاس زیر میلیمتری
ما لامپ حرارتدهی را با استفاده از اشعه مادونقرمز کوتاهموج ساختیم؛ زیرا این روش پاسخ سریعی دارد و امکان کنترل مستقیم دما را فراهم میکند. این امر منجر به ایجاد میدان حرارتی در مقیاس زیر میلیمتری میشود؛ در نتیجه، یکنواختی در سراسر منطقه حرارتدهی حفظ میشود. در عمل، فوتورزیست میتواند انرژی یکنواختی دریافت کند؛ یعنی از یک بار تولید به بار دیگر، و از یک محموله تولیدی به محموله دیگر.
این سیستم برای کار در اتاقهای پاکسازی درجه ۱ تا ۱۰۰ طراحی شده است؛ مواد و قطعات مورد استفاده نیز به گونهای انتخاب شدهاند که تولید ذرات تا حد امکان صفر شود. این دقیقاً همان چیزی است که فرآیند تولید نیاز دارد.
چرا این لامپ برای فرآیند حرارتدهی نیمههادی مناسب است؟
آنچه واقعاً مورد نیاز است، افزایش دما نیست؛ بلکه یکنواختی در فرآیند حرارتدهی است. این لامپ، پروفایل حرارتی فوتورزیست را در محدودههای دقیقی نگه میدارد؛ بنابراین، کارهای تکراری و انحرافات ناشی از تغییرات دما کاهش مییابد. سرعت افزایش دما نیز بالاست؛ اما این امر باعث افزایش بیش از حد دما نمیشود.
همچنین، سیستم کنترل جو، از ورود اکسیژن و رطوبت جلوگیری میکند؛ در نتیجه، رفتار فوتورزیست تحت تأثیر قرار نمیگیرد. مصرف انرژی نیز کاهش مییابد؛ زیرا لامپ تنها منطقه مورد نظر را با کارایی بالا گرم میکند. طراحی لامپ با عمر طولانی نیز باعث میشود که زمان بین تعمیرات کاهش یابد. در نتیجه، عملکرد ویفر پایدار خواهد بود و بازدهی تولید قابل پیشبینی خواهد بود.
نکات مربوط به نصب و استفاده
این لامپها به راحتی قابل ادغام در سیستمهای موجود هستند؛ اما برای کنترل بهتر جو، به تجهیزات حرارتی مناسب و سیستم تهویه مناسب نیاز است. انتظار داشته باشید که زمان تنظیمات لامپ برای استفاده با نوع خاص فوتورزیست و سطح مورد استفاده، کوتاه باشد.
این لامپ در صورتی بهترین عملکرد را دارد که فشار اتاق و جریان گاز در محدودههای مشخص باقی بماند؛ در غیر این صورت، حتی در صورت کنترل دقیق، یکنواختی ممکن است کاهش یابد. لطفاً اندازه ویفر، محدوده دمای حرارتدهی و درجه پاکسازی اتاق را مشخص کنید؛ ما نیز تنظیمات لامپ را بر اساس آنها انجام خواهیم داد.