Auf dem Fertigungsboden wissen Sie, wie es läuft: Eine Drift von einem halben Grad beim Softbake verändert das Photoresist-Profil, und diese Verschiebung wirkt sich auf Ihre kritische Abmessung aus. Das thermische Budget ist genau vorgegeben, und es gibt keinen Spielraum für Fehler.
Was unter der Haube wichtig ist
Wir betreiben RTP-Lampen mit kurzwelliger Halogen-Heizung durch hochreines Quarz, sodass die Energie schnell und gerichtet ist. Das System hält die thermische Gleichmäßigkeit auf Wafer-Ebene innerhalb von ±0,1°C über das gesamte Prozessfenster, vom Photoresist-Softbake bis zum Hardbake. Die Reproduzierbarkeit ist schussgenau, und die Closed-Loop-Regelung hält den Sollwert unter Last stabil.
Es ist für Reinraumklasse 1–100 ausgelegt, mit null Partikelgenerierung und geringer Ausgasung. Diese Einheiten arbeiten rund um die Uhr, und wir haben über 5.000 Stunden mit weniger als 5 % Leistungsverlust erreicht.
Warum das für Ihren Einsatzort relevant ist
In der Lithografie sorgt eine stabile Backtemperatur dafür, dass CDs im Zielbereich bleiben und die Linienkantenglätte kontrolliert wird. Enge Gleichmäßigkeit bedeutet weniger Randabweichungen und eine insgesamt sauberere Ausbeute. Schnelle Anstiegsraten verkürzen die Zykluszeit, ohne Spannungen im Stapel zu erzeugen, und die Effizienz senkt die Betriebskosten.
Der Nutzen sind weniger Abweichungen, weniger Nacharbeit und eine verlässliche Ausbeute. Im Packaging sorgt dieselbe thermische Stabilität für eine zuverlässige Aushärtung und solide Verbindungsintegrität, sodass die Linie in Bewegung bleibt.
Was Sie richtig einstellen sollten
Die Lampe hat eine hohe Intensität, daher muss die Schnittstelle zur Kammer thermisch entsprechend ausgelegt sein. Wir liefern Schnittstellzeichnungen und empfehlen eine dedizierte Stromzufuhr mit Spannungsstabilität innerhalb von ±1 %. Rechnen Sie mit einer kurzen Aufwärmphase bis zum stabilen Betrieb—planen Sie Ihre Rezepte entsprechend der Anstiegszeit. Bei korrekter Einrichtung erhalten Sie stabile Leistung mit minimalen ungeplanten Ausfallzeiten.