Die richtige Aushärtung der Wafer – es geht um die Reflexion
Beim Aushärten von Wafern ist Wärme notwendig. Doch es reicht nicht aus, einfach nur Wärme zu haben – die Wärme muss jedes Mal genau auf die Oberfläche des Wafers abgegeben werden.
Die meisten Menschen betrachten den Reflektor als ein einfaches Bauteil. Ich sehe das anders: Der Reflektor ist eigentlich das wichtigste Element in diesem Prozess. Wenn der Reflektor nicht richtig eingestellt ist, zahlt man im Grunde dafür, dass die Maschine erhitzt wird – anstatt dass das Produkt selbst erhitzt wird. Das bedeutet viel verschwendetes Geld und Energie.
Maximale Nutzung jeder Strahlungswelle
Wir konzentrieren uns auf einen sogenannten „View Factor“. Einfach ausgedrückt: Wir sorgen dafür, dass die Lampe und der Wafer direkt aufeinandertreffen.
Durch das Verwenden von mit Gold beschichteten Substraten oder hochreinem Aluminium können wir über 95 Prozent der kurzwelligen Infrarotstrahlung direkt auf den Wafer lenken. Das ist wie eine Laserfokussierung.
Und das Beste daran: Wenn man keine Energie mehr verschwendet, geht alles schneller. Die Wafer erreichen die erforderliche Temperatur viel schneller – dadurch verkürzen sich die Aushärtungszeiten. Plötzlich braucht man keinen riesigen Ofen, der die Hälfte des Platzes einnimmt.
Passend für moderne Fabriken
Wenn man eine intelligente Fabrik betreibt, möchte man Daten, denen man vertrauen kann.
Wenn der Reflektor richtig funktioniert, wird die Berechnung einfach: Eingehende Leistung entspricht der Wärme auf der Oberfläche. Kein Raten mehr nötig. Dadurch wird die Arbeit mit dem PLC viel einfacher – schließlich kann der PLC die Temperatur genau kontrollieren, ohne gegen Energieverluste kämpfen zu müssen.
Wir haben diese Komponenten als Ersatzteile entwickelt – sie lassen sich leicht austauschen. Doch Vorsicht: Achten Sie auf die Ausrichtung! Selbst eine kleine Neigung kann dazu führen, dass es „Kaltstellen“ auf dem Wafer gibt. Ein kleiner Fehler kann dazu führen, dass die Wafer beschädigt werden.
Der Kompromiss
Es gibt jedoch einen Haken: Wenn man die Wärme so intensiv konzentriert, wird die Quarzkapsel der Lampe stark belastet. Das ist eine große Belastung für die Lampe.
Überprüfen Sie unbedingt Ihre Kühlventilatoren. Stellen Sie sicher, dass sie mit der Hitze um die Lampe umgehen können – sonst können die Anschlüsse viel früher kaputtgehen. Halten Sie die Ventilatoren kühl – dann ist alles in Ordnung.