Sobald eine Micro-LED-Wafer aus dem Reinigungsprozess kommt, beginnt die Zeit zu laufen. Restfeuchtigkeit und thermische Effekte beeinträchtigen schnell die Qualität der Wafer. Die Temperaturkontrolle beim Trocknen des Photoresists muss innerhalb von ±0,1 °C erfolgen – andernfalls treten Probleme bei der Kontrolle der Linienbreite sowie bei der Haftung des Photoresists auf. Der Trockenheizer muss diese Präzision gewährleisten, ohne dabei Partikel zu erzeugen oder den Rhythmus des Trocknungsprozesses zu stören.
Was das Gerät also tun muss, ist ganz einfach: Die Temperatur muss konstant gehalten werden, das Gerät muss schnell reagieren können und muss sauber bleiben. Wir haben unseren Trockenheizer für Micro-LED-Wafer mit Kurzwell-Infrarot-Elementen in einer quarzgekapselten Kammer entwickelt. Dadurch kann die Wafertemperatur schnell erreicht und anschließend konstant gehalten werden. Die Temperaturgleichmäßigkeit auf der gesamten aktiven Fläche beträgt ±0,1 °C. Zudem sorgt die Steuerung dafür, dass der thermische Bedarf genau kontrolliert wird.
Der Trockenheizer ist für den Einsatz in Reinräumen der Klasse 1–100 konzipiert. Die Innenseiten des Geräts sind poliert, und die Luftströmung ist so gestaltet, dass keine Partikel entstehen. Die Temperaturen beim Trocknen des Photoresists bleiben von Charge zu Charge konstant, da der Steueralgorhythmus die Auswirkungen der Umgebungstemperatur ausgleicht. Die Zuverlässigkeit des Geräts über 24 Stunden hinweg ist bereits in die Konstruktion integriert – wir garantieren keine ungeplanten Stillstände während der Produktionszeit.
Man betreibt hier eine Produktionslinie mit dem Ziel, eine hohe Ausbeute zu erzielen. Der Trockenheizer verkürzt die Trocknungszeiten, verringert die Wartezeit zwischen Reinigung und Lithografieprozess und reduziert die Anzahl der Ausschussprodukte durch Rückstände von Lösungsmitteln an den Kanten der Wafer. Der Energieverbrauch sinkt, da der Heizer schnell reagiert und die gewünschte Temperatur konstant hält. Auch die Wartungsintervalle verlängern sich – die geringe Wärmeleitfähigkeit des Geräts sowie die Tatsache, dass die Elemente für tausende von Zyklen ausgelegt sind, tragen dazu bei.
Ein praktischer Hinweis zur Installation: Der Heizer benötigt eine eigene 240-V-Stromversorgung sowie saubere, trockene Luft, um die Funktionalität zu gewährleisten. Es ist unerlässlich, dass die Abmessungen des Geräts zu denen des jeweiligen Aufnahmesystems passen – daher sollte die mechanische und elektrische Integration frühzeitig geplant werden. Wir liefern dimenzierte Zeichnungen sowie Schaltpläne, damit alles richtig zusammenpasst.