V okamžiku, kdy je wafer s mikro-LED diodami vyčištěn, začíná běžet čas. Zbytková vlhkost a tepelné odezvy rychle ničí výsledné parametry. Proces zahřívání fotorezistentu musí probíhat v rozmezí ±0,1 °C – jinak začnou vznikat problémy s kontrolou tloušťky čar a s jejich přilnavostí. Ohřívač musí dosáhnout této přesnosti bez vzniku částic a bez narušení pravidelnosti procesu.
To, co tento ohřívač musí udělat, je jednoduché: musí udržovat konstantní teplotu, rychle se znovu nastavit a zároveň zůstat čistý. Náš ohřívač pro sušení waferů s mikro-LED diodami využívá krátkovlnné infračervené elementy v komoře izolované kvarcem – díky tomu se wafer rychle dostane na požadovanou teplotu a poté ji udrží. Rozptyl teploty v aktivní oblasti waferu je ±0,1 °C, a kontrola teploty zajistuje její konstantnost.
Ohřívač je navržen pro provoz v čistých prostorách třídy 1–100 – s vyleštěnými povrchy a geometrií provozu, která zabraňuje vzniku částic. Profily zahřívání fotorezistentu zůstávají konzistentní mezi jednotlivými serii, protože algoritmus kontroluje hmotnost nosičů a odchylky teploty v okolí. Spolehlivost provozu po dobu 24 hodin je samozřejmostí – slibujeme nulové neplánované přerušení provozu během výrobních procesů.
Jde o efektivní řešení pro zvýšení výtěžnosti výroby. Tento ohřívač zkracuje dobu sušení a zahřívání, snižuje dobu čekání mezi čištěním a litografií a také snižuje množství odpadu způsobeného zbytky rozpouštědel. Spotřeba energie klesá, protože ohřívač pracuje rychle a udržuje stanovenou teplotu bez překročení limitů. Intervaly údržby se také prodlužují – nízká tepelná hmotnost a prvky určené k tisícům cyklů to umožňují.
Jedna praktická poznámka ohledně instalace: ohřívač potřebuje speciální napájecí výkon 240 V a čistý, suchý vzduch pro udržení správných podmínek. Je nezbytné, aby rozměry ohřívače odpovídaly rozměrům zařízení, se kterým bude používán – proto je nutné již v počáteční fázi plánovat mechanickou a elektrickou integraci. Poskytujeme dimenzionální výkresy a schémata konektorů, abychom zajistili správné spojení.