আপনার ফ্যাবের হিটিং সিস্টেমকে দ্রুততর করা
যদি আপনি ওয়েফার প্রসেসিং বা CVD প্রক্রিয়া চালান, তাহলে আপনি নিশ্চয়ই জানেন যে হিটার ল্যাম্পগুলোই এই প্রক্রিয়ার কেন্দ্রবিন্দু। কিন্তু বর্তমান ফ্যাবগুলোতে “অকার্যকর” হিটিং উপাদান ব্যবহার করা সম্ভব নয়।
আপনার ডিজিটাল নিয়ন্ত্রণ ব্যবস্থার সাথে সংযোগ রাখতে হবে হিটিং উপাদানগুলোর। আপনাকে রিয়েল-টাইমে থার্মাল ম্যাপিং দেখতে হবে; অনুমান করার দরকার নেই।
UHP হিটিং সিস্টেমের বিস্তারিত
এই ল্যাম্পগুলো তৈরি করার লক্ষ্য খুবই সরল: ঠিক সেখানেই তাপ সরবরাহ করা, যেখানে প্রয়োজন; আর সাবস্ট্রেটে কোনো অপ্রয়োজনীয় তাপ না থাকা।
এজন্যই আমরা উচ্চমানের সিন্থেটিক কোয়ার্টজ ব্যবহার করি। এটা ঠান্ডা গ্যাস বের হওয়া রোধ করে। ক্লিনরুমে এটা অপরিহার্য।
যদি আপনি ৩০০ মিমি ওয়েফার ব্যবহার করেন, তাহলে আপনার উচ্চ পাওয়ার ডেনসিটি দরকার। আমরা শর্টওয়েভ ইনফ্রারেড (SWIR) ব্যবহার করি; কারণ এটা দ্রুত উপাদানের মধ্য দিয়ে প্রবেশ করে। এর ফলে প্রক্রিয়া দ্রুত শেষ হয়।
অনুমান করা বন্ধ করুন, ট্র্যাক করুন
“ইন্ডাস্ট্রি ৪.০” হলো একটি জটিল ধারণা; কিন্তু আমাদের কাছে এর অর্থ হলো ডেটা ব্যবহার করে কাজগুলোকে সহজ করা।
আমরা এই হিটারগুলোকে PLC-নিয়ন্ত্রিত গ্রিডে সংযুক্ত করি; যাতে আপনি ভোল্টেজ ও পাওয়ার ড্রয় পর্যবেক্ষণ করতে পারেন। এটা অত্যন্ত কার্যকর। ক্যালেন্ডার অনুযায়ী ল্যাম্প পরিবর্তন করার পরিবর্তে, আপনি দেখতে পারেন কখন ল্যাম্পটি কাজ করা বন্ধ করে দেয়। তখনই আপনি ল্যাম্পটি পরিবর্তন করতে পারেন। পূর্বাভাসমূলক পরিবর্তন।
এছাড়াও, আপনি ওয়েফারের উপর থার্মাল ম্যাপিং দেখতে পারেন। ফলে অপ্রয়োজনীয় কাঁচামাল কমে যায়।
আপনাকে জানা উচিত কিছু সীমাবদ্ধতা
সত্যি বলতে, উচ্চ-ওয়াটেজের UHP ল্যাম্পগুলো প্রচুর তাপ উৎপন্ন করে; কিন্তু এগুলোর জন্য প্রচুর বিদ্যুৎ প্রয়োজন।
আপনার ওয়্যারিং ঠিক আছে তা নিশ্চিত করুন। আপনার কানেক্টরগুলো যেন সর্বোচ্চ কারেন্ট সামলাতে পারে; নইলে ভোল্টেজ কমে যাবে এবং আপনার ফলাফল খারাপ হবে। আর কুলিং ব্যবস্থাও গুরুত্বপূর্ণ। যদি আপনার সিস্টেম চারপাশের তাপ সামলাতে না পারে, তাহলে প্রক্রিয়ার তাপমাত্রা বেড়ে যাবে।
আমরা এগুলোকে আপনার বর্তমান যন্ত্রপাতির জন্য উপযুক্ত করে ডিজাইন করেছি। শুধুমাত্র তরঙ্গদৈর্ঘ্য ও কোয়ার্টজের গুণমান ঠিক থাকুক। এই দুটো ঠিক রাখলেই ডিজিটাল ব্যবস্থাটি বাকি কাজগুলো সামলে নেবে।