ফ্যাব ফ্লোরে, একটি 300mm ওয়েফারে হাজার হাজার ডাই থাকে। ফটোরেজিস্ট বেকের সময় 2°C এর স্বল্পতম তাপমাত্রা ওঠানামা একটি সম্পূর্ণ লট ক্ষতিগ্রস্ত করতে পারে। আমরা আমাদের থার্মাল সিস্টেমগুলি এমনভাবে তৈরি করেছি যাতে এটি ঘটতে না পারে।
টেকনিক্যালি যা গুরুত্বপূর্ণ তা হল এমন নিয়ন্ত্রণ যা আপনি বিশ্বাস করতে পারেন। আমাদের NIR এবং মিডিয়াম-ওয়েভ ইনফ্রারেড মডিউলগুলো সম্পূর্ণ প্রসেস উইন্ডোর মধ্যে ±0.1°C এর মধ্যে ওয়েফার-লেভেলের ইউনিফর্মিটি ধরে রাখে, সফট বেক থেকে হার্ড বেক পর্যন্ত। কোয়ার্টজ এবং কার্বন-ফাইবার-রিইনফোর্সড হিটার এলিমেন্ট দ্রুত র্যাম্প করে, স্পর্শকাতর ওভারশুট কম রেখে, ফলে আপনি ফটোরেজিস্ট প্রোফাইল রক্ষা করতে পারেন এবং লাইনের প্রস্থ লক্ষ্যবস্তুতে রাখতে সক্ষম হন।
প্রতিটি ইউনিট Class 1–100 ক্লিনরুম ব্যবহারের জন্য রেট করা হয়েছে, যেখানে কোনও পার্টিকেল উৎপাদন হয় না এবং সিল করা, কম আউটগ্যাসিং বডি রয়েছে। এর ফলে পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা নিশ্চিত হয় যা ক্রিটিক্যাল ডাইমেনশন ভ্যারিয়েন্স স্পেকের নিচে রাখে, এবং নির্ভরযোগ্যতা যা ২৪/৭ চলতে পারে বিনা পরিকল্পিত ডাউনটাইমের।
বাস্তব সেলে এটি কাজ করার কারণ সহজ: থার্মাল বিহেভিয়ারকে রেসিপির সাথে মেলাতে হয়, টুলের জন্য রেসিপিকে বাঁকাতে নয়। আমরা বিদ্যমান কোটার/বেক ট্র্যাক এবং উন্নত প্যাকেজিং সরঞ্জামে সরাসরি ইন্টিগ্রেশন করি, প্রতিটি ওয়েফার পাসে সঠিক তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ প্রদান করে।
কঠোর থার্মাল বাজেট। কম রিওয়ার্ক। স্থিতিশীল ইল্ড।
এনার্জি ব্যবহারে হ্রাস আসে কারণ হিটারগুলো তাপ প্রয়োজনীয় জায়গায় দেয়, এবং সাইকেল টাইমগুলো সংকুচিত হয় ধারাবাহিক র্যাম্প রেটের কারণে। সেমিকন্ডাক্টর মেশিনারি পার্টস ট্রেডের জন্য, এই মডিউলগুলো একটি আপগ্রেড হিসেবে ইনস্টল হয় যা সরঞ্জামের আয়ু বাড়ায় পুরো লাইন পুনরায় যোগ্যতা ছাড়াই।
আপনি যে বিষয়গুলো পরিকল্পনা করবেন তা হলো: ইনস্টলেশনের সময় ভোল্টেজ, কানেক্টর টাইপ এবং মেকানিক্যাল এনভেলপ হোস্ট প্ল্যাটফর্মের সাথে মেলাতে হবে — আমরা সাধারণ OEM ফুটপ্রিন্টের জন্য ডাইমেনশনাল ড্রয়িং এবং পিনআউট সরবরাহ করি।
কমিশনিং সংক্ষিপ্ত, তবে আপনাকে PID প্যারামিটার আপনার নির্দিষ্ট প্রসেস গ্যাস এবং ওয়েফার স্ট্যাক অনুযায়ী টিউন করতে হবে। উচ্চ আর্দ্রতা পরিবেশে, একটি ছোট সেটপয়েন্ট বায়াস পরিবেশগত থার্মাল লোডের ক্ষতিপূরণ দেয়।
প্রতিরোধমূলক রক্ষণাবেক্ষণ প্রতি 5,000 ঘন্টায় পরিকল্পনা করুন যাতে ইউনিফর্মিটি কঠোর থাকে এবং পার্টিকেল কাউন্ট শূন্য থাকে।