ফ্যাব ফ্লোরে, আপনি জানেন যে ফটোরেসিস্ট সফট বেক প্রক্রিয়ায় ২°C এর মতো তাপমাত্রা পরিবর্তনই কয়েক সপ্তাহের পরিশ্রমকে নষ্ট করে দিতে পারে। লিথোগ্রাফিতে তাপীয় ভিন্নতা? এটা সহ্য করা যায় না। ওয়েফার শুকানোর প্রক্রিয়ায়ও একই অবস্থা। হিটিং এলিমেন্টটি অবশ্যই মেশিনের প্রক্রিয়ার গতির সাথে তাল মিলিয়ে চলতে হবে।
কী গুরুত্বপূর্ণ?
আমরা উচ্চ-উৎসর্গশীল ফিলামেন্ট এবং স্থিতিশীল রিফ্লেক্টর ব্যবহার করে মলিবডেনাম সাপোর্টযুক্ত ইনফ্রারেড ল্যাম্প তৈরি করেছি। এর ফলে ওয়েফারের তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ করা সম্ভব হয়; সাধারণত হট জোনে তাপমাত্রার পার্থক্য হয় ±0.1°C। মলিবডেনাম সাপোর্টটি বারবার তাপীয় চক্রের মধ্যেও তার আকৃতি বজায় রাখে। ল্যাম্পটি ক্লাস ১ থেকে ক্লাস ১০০ পর্যন্ত ক্লিনরুম-সংগত। ল্যাম্পটি ৫,০০০+ ঘন্টা ধরে কাজ করতে পারে; এখানে তীব্রতার পরিবর্তন হয় ৫% এর কম।
কেন এটা আপনার কাজের জন্য উপযুক্ত?
এই ল্যাম্পটি আপনার ব্যবহৃত তাপীয় প্রক্রিয়াগুলোর জন্যই ডিজাইন করা হয়েছে—যেমন ওয়েফার শুকানো, ফটোরেসিস্ট সফট/হার্ড বেক, প্যাকেজিং, এবং ক্লিনিং-পরবর্তী শুকানো প্রক্রিয়া। উচ্চ স্তরের সামঞ্জস্যতা লাইন-ওয়াইডথ কমাতে সাহায্য করে; ফলে সলভেন্টের পরিমাণ কমে যায়। এতে CD নিয়ন্ত্রণ সহজ হয় এবং রিওয়ার্ক কমে যায়। দ্রুত ও নিয়ন্ত্রিত তাপমাত্রা বৃদ্ধি বেক প্রক্রিয়াকে সংক্ষিপ্ত করে; ফলে থ্রুপুট বৃদ্ধি পায়। পরিষ্কার ও কণামুক্ত হিটিং ব্যবস্থা সংবেদনশীল প্রক্রিয়াগুলোতে উৎপাদন সুরক্ষিত রাখে।
ইনস্টলেশন সংক্রান্ত তথ্য:
টলারেন্সগুলো খুবই কম। ল্যাম্পটিকে চেম্বারের পোর্টের সাথে সামঞ্জস্য করতে হবে; এছাড়া OEM ফিক্সচারের সাথেও সামঞ্জস্য যাচাই করতে হবে। ভুল সামঞ্জস্যের ফলে হট স্পট তৈরি হয় এবং তাপমাত্রা পরিবর্তিত হয়। ল্যাম্পটি উচ্চ পাওয়ার ঘনত্বে কাজ করে; তাই পাওয়ার বাসটি লোডের জন্য উপযুক্ত হতে হবে। এছাড়া এয়ারফ্লো প্যাথও স্বচ্ছ থাকতে হবে; এতে ফিলামেন্টের তাপমাত্রা স্থিতিশীল থাকে। আউটপুট স্থিতিশীল হতে কিছুটা সময় লাগে; তাই রিপিটেবিলিটি বজায় রাখতে সময়টি বিবেচনা করে প্রক্রিয়াগুলো পরিকল্পনা করতে হবে।