في أرضية المصنع، توجد رقاقة بقياس 300mm تنتظر الخبز الناعم لتثبيت شكل الفوتوريزست. نقطة ساخنة واحدة، منطقة باردة واحدة، وتتحكم خط العرض يختفي. يتوقف الخط. قمنا ببناء هذا السخان الخاص بمعالجة الرقائق البصرية لمنع حدوث ذلك من البداية.
ما يهم فعليًا من الناحية التقنية
يعتمد الجهاز على باعثات كوارتز بالأشعة تحت الحمراء قصيرة الموجة (SWIR)، حيث يوجه الطاقة مباشرة إلى الفوتوريزست والركيزة—بسرعة، وبشكل مباشر، وبدون تعقيد. تحصل على تجانس على مستوى الرقاقة ضمن ±0.1°C عبر المنطقة الفعالة، مما يحافظ على خطوات الخبز الحرارية الحرجة ضمن الميزانية الحرارية المحددة. الجهاز متوافق مع غرف التنظيف من الفئة 1 إلى الفئة 100، ولا يطلق أي جسيمات أثناء التشغيل. تكرار درجة الحرارة يظل ضمن ±0.2°C من دفعة لأخرى، والسخان يعمل على مدار الساعة طوال أيام الأسبوع دون توقف غير مخطط له.
لماذا يناسب العمل الذي نقوم به
يحقق هذا السخان المحاور الحرارية الأربعة التي نعتمد عليها: تجفيف الرقائق، الخبز الناعم والخبز الصلب للفوتوريزست، تعبئة التغليف وشفاء التغليف الخارجي، والتجفيف بعد التنظيف.
في الطباعة الحجرية، يحافظ هذا التجانس الضيق على أبعاد الخطوط وأهداف الملف الشخصي ضمن المواصفات، مما يقلل من الخردة وإعادة العمل. في التغليف، يسرع الارتفاع الحراري السريع نافذة الشفاء دون تجاوز، مما يحسن الإنتاجية. وبما أن SWIR يسخن مباشرة بدلاً من تسخين الحجرة، فإن استهلاك الطاقة يقل.
هذه هي التفاصيل التي تحتاجها
التثبيت يعتمد على تطابق الحيز الميكانيكي للأداة وحلقات التبريد. نوفر رسومات الواجهة وقائمة الموصلات لتسهيل الدمج.
عمر الباعث مقدر بـ 10,000 ساعة. بعد ذلك، قد يبدأ انحراف المخرج في التأثير على التجانس ما لم تخطط لاستبداله. لذلك، خطط لفترة الصيانة مسبقًا—لا تنتظر حتى يظهر العطل في أرضية المصنع.